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商品描述:
说明
凭借EBARA独特的紧凑结构、低噪音和低功耗,该风冷泵系列不需要冷却水,可灵活安装,适用于生产工厂、测试和研究实验室等各种环境中的许多真空应用。
EV-A06系列真空泵设计用于从大气压到毫托范围内的重复泵送性能。这些是湿式泵和涡旋泵的理想替代品;不再频繁更换或重建机油,零基础压力漂移。
EV-A06干式泵的典型应用包括负载锁、PVD系统、分析仪器、计量设备。非常适合所有需要真空性能和正常运行时间的应用
特征
•无油
•低能耗
•紧凑/轻便,占地面积小
•低拥有成本[电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
•根据工艺应用的各种泵配置
•用于非反应性气体的空气冷却泵
•低噪音
•无触点设计
•大气中的高泵送速度



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